Провести измерения в соответствии с технологической инструкцией ФКСН.25202.00004. Использовать измерительную программу “Reflexiv index”.

4.3.3.3 Использовать для калибровки контрольную пластину для контроля привносимой дефектности (пластина должна находиться в кассете спектрофотометра).

Значения коэффициента отражения показываются на экране в графе “Reflection”.

Записать в операционный журнал значение коэффициента отражения. Для изделий категории качества «ВП» записывать значение и в сопроводительный лист.

Примечание - При измерении коэффициента отражения с калибровкой по кремнию, спектрофотометр показывает коэффициент отражения алюминия относительно кремния. Для получения истинного коэффициента отражения значения в графе “Reflection” нужно умножить на коэффициент 0.42.
При записи в сопроводительную документацию это умножение делать не требуется.

4.3.4 Контроль структуры пленок сплавов алюминия в светлом поле микроскопа (периодический и текущий контроль качества).

4.3.4.1 Контроль структуры пленок сплавов алюминия проводится в светлом поле микроскопа при увеличении от 100^´ до 250^´.

4.3.4.2 Методика контроля:

- контроль проводится в трех точках на пластине в соответствии с рисунком 4.3;

 

 

5-10 мм от края

Направление движения пластины в процессе напыления (для установок Магна 2М, Оратория 29)

центр

 

Рисунок 4.3 - Точки контроля структуры пленок сплавов Al

 

- поместить пластину с помощью вакуумного захвата на столик микроскопа;

- оценить качество пленки в поле зрения микроскопа на соответствие рисунок 4.4, рисунок 4.5.

Контроль толщины пленок металла

Аттестационный контроль толщины пленок проводится измерениями с помощью профилометра Alpha-step 200 в соответствии с технологической инструкцией ФКСН.25202.00020.

4.4.3 Периодический и текущий контроль толщины пленок металлов:

Периодический и текущий контроль толщины пленок металлов проводится с помощью измерений на приборе M-gage 300 в соответствии с технологической инструкцией ФКСН.25271.00058.

Допускается проводить измерения при помощи измерителя Rs-30 согласно ФКСН.60202.00053, а также на профилометре Alpha-step 200 в соответствии с технологической инструкцией ФКСН.25202.00020.

Измерения толщины пленок сплавов алюминия при текущем контроле допускается проводить при помощи интерферометра Линника МИИ-4.

Измерения толщины пленок сплавов алюминия при помощи прибора M-gage 300 допускается проводить на рабочих пластинах.

Контроль поверхностного сопротивления и расчет удельного сопротивления пленок металлов, кремниево-резистивного сплава

Для пленок металлов при аттестационном контроле толщины проводится контроль удельного сопротивления.

Порядок контроля удельного сопротивления пленок металлов.

Провести измерения поверхностного сопротивления пленок с помощью прибора M-gage 300 в соответствии с технологической инструкцией ФКСН.25271.00058 в пяти точках на пластине. Допускается проводить измерения на приборе Rs-30 в соответствии с ФКСН.60202.00053.

Провести измерения толщины пленок на контрольных пластинах с помощью профилометра Alpha-step 200 в соответствии с технологической инструкцией ФКСН.25202.00020 в пяти точках на пластине.

4.5.3.3 Рассчитать удельное сопротивление пленки для каждой точки измерений по формуле:

, (4.1)

где Rs - измеренное значение поверхностного сопротивления, Ом;

d - измеренное значение толщины, мкм;

100 – множитель.

Рассчитать среднее значение удельного сопротивления по всем измеренным точкам.